北京七星华创流量计 流量显示仪 流量计 真空镀膜流量计 真空流量计 D07-7流量计 七星流量计 流量显示 七星华创

表1. D07-7B 型MFC性能指标

编号	项     目	D07-7B  型
1	流量规格	( 05,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM ( 01,2,3,5,10)                    SLM
2	准确度	±1.5   F.S
3	线性	±1   F.S
4	重复精度	±0.2  F.S
5	响应时间	电特性:      10   sec   气特性:   4  sec
6	工作压差范围	(0.1   0.5)  MPa
7	耐压	3  MPa
8	工作环境温度	5   45
9	输入输出信号	0  V  +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)
10	电源	+15  V   50 mA -15V   200 mA
11	外形尺寸	见图4
12	重量	1.1  kg

 

注意:                                                                       

质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。

质量流量的单位规定为:  SCCM  (标准毫升/分);

　　　　　　　　　　　　SLM    (标准升/分)

标准状态规定为:           温度 ---  273.15K  ( 0);

                          气压   101325 Pa (760mm Hg)

F.S. (FullScale):     满量程值

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