小型离子溅射仪器 型号:KD02-JS-1600库号：M389279

小型离子溅射仪型号:KD02-JS-1600库号：M389279

小型离子溅射仪采用二极（DC）直流溅射原理设计，操作简单方便，适用于扫描电子显微镜（SEM）样品制备,非导体材料实验电极的制作。

技术指标如下：

1.靶（上部电极）：材料：金，直径：50mm，厚度：0.1mm纯度：99.999%

2、真空室：直径：160mm，高：120mm

3.样品台（下部电极）：溅射面积：直径：50mm

4．工作真空：8×10-2—2×10-1 mbar

5.离子电流表：50mA

6.数显计时器：根据溅射习惯设定单次溅射时间。

7.电压：-1600DVC

8.机械泵:2升/每秒

9.工作室工作媒介气体：空气或氩气，

10．微型真空气阀：配有氩气进气口和微量充气调节，可连接φ3mm软管。

11.外型尺寸：360mm×300mm×380mm

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