二手日本光弛1300MM真空电镀膜机 光学蒸发镀膜机包保养维修安装

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≥1台

总供应

2台

所在地

广东省东莞市

  • 图文详情
  • 产品属性
  • 设备名称OTFC-1300CBI/DBI

    真空室SUS304, φ1300mm×1610mm (H)

    工件架φ1130mm

    工件架转速10rpm to 50rpm(可变)

    光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪波长范围:350nm to 1100nm反射式/透射式

    水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器

    蒸发源电子2套

    离子源17cmRF离子源

    排气系统机械泵+2个扩散泵+Polycold(或2个冷凝泵)

    达到压力7.0×10-5 Pa 以下

    排气时间15分(大气压~1.3×10-3 Pa)

    基板温度最高:350℃

    工作条件

    设备尺寸5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)

    电源3相,200v,50/60Hz, 约104KVA

    水流量140升/分以上

    空气压力0.5MPa以上

    重量8500kg

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    型号 : OTFC-1300
    新旧程度 : 9成新
    设备所在地 : 东莞茶山
    设备生产产地 : 日本
    产品数量 : 1
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