FTM107-A膜厚监控仪，在线镀层测厚仪，膜厚仪 ，淄博森源

FTM107-A膜厚监控仪

一．FTM107-A膜厚监控仪应用范围：

    FTM107-A膜厚监控仪适用于普通蒸发、磁控溅射、离子镀等真空镀膜厚度测量，通过触摸屏和数码管显示，使您能获取完整的沉积数据，包括速率、厚度、镀膜曲线和镀膜时间。

FTM107-A膜厚监控仪采用触摸屏技术，控制和显示均通过触摸屏实现；同时配有数码管显示实时速率和厚度，以适应习惯数码管显示的技术人员。到达设置厚度，自动关闭挡板或蒸发源。采用先进的软件和硬件设备，进一步提高仪器抗干扰能力。 

二、FTM107-A膜厚监控仪技术特点：

1.全触摸屏操作显示，简单易用；

2.精确显示薄膜厚度，可控制二个挡板/蒸发源；

3.监控镀膜层数达到99层；

4.提供RS232/RS485接口。

三、FTM107-A膜厚监控仪技术参数：

	FTM107-A监控仪
晶振频率	6MHz（可选2.5M 3M 5M 9M晶体)
显示方式	5”彩色触屏+数码管显示速率和实厚
操作方式	触摸屏
厚度范围	0-99μ9999Å
厚度显示分辨率	1Å
速率范围	0-999.9Å
速率显示分辨率	0.1Å/s
镀膜层数	99层
探头数量	4个
工具因子	0.01-99.99
材料存储	257+自定义10种
通 讯	RS232/RS485
挡板/源控制	2组触点，到达厚度关挡板/蒸发源
镀膜显示	速率曲线/数值
镀膜巡回次数	99次
机箱尺寸	480×280×89mm(2U 19”机箱)

 

四．特殊功能：

（1）具有人工停止镀膜功能  

（2）可显示镀膜层、材料和使用晶体振荡频率百分比

（3）显示镀膜结束后的监测实厚、材料和层次

 

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