星明光学XM40光学高倍CCD高清工业半导体芯片检测明暗视野DIC微分干涉金相显微镜

金相显微镜配有大移动范围的载物台、落射照明器、平场无限远长工作距离明暗场物镜、大视野目镜、图像清晰，衬度好。是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、治金工业开发的，作为高级金相显微镜使用。可进行明暗场观察、落射偏光、微分干涉DIC观察，广泛用于工厂、研究机构、高等院校对硅片、电路基板、FPD、精密模具的检测分析。

特点说明

1.各操作机构根据人机工程学设计，大限度减轻操作者的使用疲劳. 模块化的部件设计，可对系统功能进行自由组合。

2.采用4寸平台设计，可适用于相应尺寸的晶圆或 FPD检测，也可用于小尺寸样品的阵列检测。3.全新设计的超长工作距物镜，采用半复消色差技术，并使用多层寛带镀膜技术，使整个视场内的成像清晰税利，色彩自然，明亮舒适超长的工作距离设计。5X、 10X、20X物镜的设计，通过精选材料及优化设计，使DIC微分干涉观察的性能非常出色4.使用暗场功能，可以观察物体表面的各种划痕、 杂质点及其他细微缺陷。5.在正交偏光的基础上，插入DIC棱镜，即可进行DIC微分干涉相衬观察。使用DIC技术，可以使物镜表面微小的 高低差产生明显的浮雕效果，极大的提高图像的对比度。6.5X、10X、20X专为DIC设计，使得整个视场的干涉色一致，微分干涉效果非常出色。

技术规格

1.型号：XM40

2.观察方法：明场/暗场/偏振光/DIC/透射光

3.光学系统：无限远色差校正光学系统

4.目镜：PL10X/22平场高眼点目镜

5.物镜：

无限远半复消色差长工作距明暗场金相物镜5X NA0.15 WD14.8mm

无限远半复消色差长工作距明暗场金相物镜10X NA0.30 WD8.5mm

无限远半复消色差长工作距明暗场金相物镜20X NA0.45 WD11.9mm

无限远半复消色差长工作距明暗场金相物镜50X NA0.75 WD3.0mm

无限远半复消色差长工作距明暗场金相物镜100X NA0.80 WD3.0mm

6.观察筒：无限远铰链三通观察筒，瞳距调节：50mm~76mm，两档分光比双目:三目=100：0

7.转换器：5孔明暗场物镜转换器（带DIC插槽）

8.载物台：4英寸载物台，平台面积 310*240mm，移动行程：100mmX100mm机械平台，X、Y方向同轴调节

9.显微镜镜体：反射用机架低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统，采用数字调光，具有光强设定与复位功能

10.反射照明器：明暗场反射照明器，带可变孔径光阑，视场光阑，中心可调，带滤色片插槽，带起偏镜/检偏镜插槽

11.灯室：10W可调LED灯室，透、反射通用，预定中心

12.起偏镜插板，360°旋转式检偏镜插板

13.摄像接口：0.65X，C型接口，可调焦（可选0.5X/1X）

14.成像设备：600万像素显微相机，显微图像软件

15.图像软件：测量软件拍照，录像，测量，实时图像拼接，景深融合

可升级选件

1.高眼点大视野目镜SWH10X-H/25mm，视度可调

2.5孔明暗场电动物镜转换器（电动/带DIC插槽）

3.无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜100X NA0.90 WD1.0mm

4.2000万像素显微摄像头5.HDMI高清工业相机加22寸显示器

6.计算机：品牌电脑和显示器

7.移动范围6寸平台和8寸平台

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