碳化硅悬臂桨 半导体晶圆承载梁 山东尚美 质量保证 反应烧结化硅悬臂桨可定制

碳化硅悬臂桨 半导体晶圆承载梁 山东尚美 质量保证 反应烧结化硅悬臂浆可定制

山东尚美是专业生产反应烧结碳化硅制品的生产厂家，其中产品就有碳化硅悬臂桨，主要是用于半导体行业，做承载晶圆的承载梁使用，山东尚美作为生产厂家生产的碳化硅悬臂桨，质量保证，并且可根据客户不同规格要求进行定制

反应烧结碳化硅悬臂桨，是半导体晶圆装载系统的关键部件。光伏新能源行业用的碳化硅桨，主要规格2378毫米，2550毫米，2660毫米等，现在延长到3750mm;

        应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的（扩散）涂层过程中，对硅片在高温环境中（1000---1300℃）的承载输送作用。

　　碳化硅悬臂桨性能稳定，在高温环境下不变形，晶圆装载力大，适用于机器人自动装载和搬运系统。由于悬臂浆截面稳定不变形，使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。悬臂浆与LPCVD涂层的热膨胀系数相近，应用于LPCVD，极大地延长了维护清洗的周期，并大幅减少污染物。

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