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FFU是FAN FILTER UNIT的减写，中文称作风机过滤器单位，也就是将风机以及过滤器组合在一起构成自身能供给动力的末端净化设备。

    早在上个世纪六十年月，美国新墨西哥州Sandia国度试验室的科学家们哄骗HEPA过滤的要领研制乐成了层流技术，其后商用FFU陆续在美国一些手术室及工业车间得到广泛的应用。但直到1984年，在亚洲才浮现大范围应用FFU的事例（大约有5000台）。是什么缘故原由导致FFU在恁地长的时间没有得到广泛的发展呢？有3个问题占主导官位地方：噪声较大问题；压力均衡问题，在很大的静压箱里，各不同角落的风机是不是能得到均衡的压力，这在其时也是不能够得到保证的；维护问题，FFU自己造价就比力高，如果它的机电寿命不能保证的话，更换又会带来附加投资。这些个都是造成其时的企业不选择使用FFU的首要缘故原由。 可是这一切，在1984年都发生了改变。首先是噪声问题得到了控制，大范围的FFU洁净车间均可以把噪声控制在65dBA以下，这符合 工业车间的标准。其次随着自动控制的发展，监测以及调节各个角落的静压也变得容易起来。最后机电的寿命随着技术的提高也得到了质的奔腾。现在，随着半导体电子技术的发展，愈来愈密集的集成电路也要求着愈来愈高的洁净等级。这给大规划应用FFU带来转化的关键，而FFU体系自己也有着其独特的上风。

首要包括以下几点：

    1．矫捷性。因为FFU是自动员力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净车间里，可根据需要，分区控制。并且，随着半导体出产工艺的变化，车间布局必然要作响应调整，FFU的矫捷性要得这样的调整变得轻松，并且不会带来二次投资。

    2．可再哄骗性。从定见上讲，一时不消的FFU设备，可以拆下来，弥缝好，妥帖保管，留待下次使用。

    3．负压通风。这是FFU的独特独特的地方。由于它自己能够供给静压，要得送风止压箱相对于洁静车间负压。这样，静压箱内的颗粒就不会遭到压力的效用走漏到洁净区里，要得弥缝变得很简单并且安全。

 4、缩短配置设备摆设周期。使用FFU免却了风管的建造以及安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的配置设备摆设周期，任何一个投资者都但愿投资能尽快带来收入，选用FFU成了一种有可能。

    5、减少运行成本。虽然在选用FFU时，开始的一段时间投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的体现出节能、免维护等独特的地方。

    6．节约空间。比拟力RCU+HEPA体系，FFU+DCC+MAU体系占用送风止压箱内较少层高，且基本不占用洁净室内空间。而RCU岂论是悬挂在天板上方照旧配置在洁净室，均占用

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