供应日本iwaki易威奇风囊泵FS泵 风囊泵FF化工泵 半导体专用

FS .FF系列 外型小巧、低成本、高速冲程的气动风囊泵

 

高速冲程

提升泵的冲程速度 (最高达240 spm)，让制造过程中，大大减少泵的尺寸、重量、成本，及降低脉动。

 

无污染设计

过流端零件均采用氟树脂材质，没有金属零件外露的设计，外壳采用氟树脂材质。使用独有的轴封 (已申请专利)，能显著降低颗粒的产生。

 

液体输送温度范围宽泛/高吐出压力

液体输送温度范围高达5 - 180°C，吐出压力高达45MPa。不仅适用于清洗和CMP制程，同时适用于化学液体供药。

 

易于维护

更换开关无需拆卸，不需定期收紧螺栓，减少了停机时间。

 

传感器驱动系统

内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此，即使连接各种控制器，亦可以轻易控制吐出量。

 

 

规格

最大吐出量	55 L/min
最大吐出压力	0.5 MPa
最大耗气量	670 NL/min
最大冲程率	240 spm
主要材质	PTFE, PFA
液体输送温度范围	5 ~ 180 °C

型号：

FS-15HT1

FS-15HT2

FS-30HT1

FS-30HT2

FS-60HT1

FS-60HT2

FF-10BT1

FF-20BT1

FF-20HT1

 

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