离子溅射仪器 型号:KD02-JS-1600库号：M389279

离子溅射仪型号:KD02-JS-1600库号：M389279  

离子溅射仪采用二极（DC）直流溅射原理设计，适用于扫描电子显微镜（SEM）样品制备,非导体材料实验电极的制作。  

主要规格和技术指标：  

1.靶（上部电极）：材料：金，直径：50mm，厚度：0.1mm纯度：99.999%  

2、真空室：直径：160mm，高：110mm  

3.样品台（下部电极）：溅射面积：直径：50mm  

4．工作真空：8×10-2—2×10-1mbar  

5.离子电流表：电流：50mA  

6.数显计丨时器：根据溅射习惯设定单次溅射时间。  

7.溅射电压：-1600DVC  

8.真空泵（VTD-4）:1.1升/每秒  

9.工作室工作媒介气体：空气或氩气等多种气体  

10．针阀：配有进气口，微量充气调节，可连接φ4*2.5mm软管  

11.外型尺寸：360mm×300mm×380mm

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