GPI系列激光干涉测量仪 ZYGO平面干涉仪 100MM激光干涉仪主体+100MM平面镜头+立试支架

可调支架,大光圈

 

两轴可调支架提供±1.5°提示/倾斜调整和在12日,18日,24日,32英寸大小。18和24英寸支架包括空气轴承界面。机动选项可以有单一的双控制器的位置(本地和远程)。自动控制选项使机动控制所有系统和自动提示/倾斜调整相机系统与640 x480分辨率和更高。所有系统是普遍存在的,并且可以设置为运行在100/120V或220/240V.

 

	尺寸	可调节扳手	机动提示/倾斜	机动提示/倾斜	自动提示/倾斜	自动提示/倾斜
		（两轴联动底座）,	选项	选择，两个	选择，单	选项，单
		手动操作	控制器	位置控制器,	用控制器	用控制器
			不是自动的	不是自动的	30英寸的电缆	70英寸的电缆
	12 inch	6068-0351-01	6068-0411-03	6068-0411-07	6068-0411-21	6068-0411-17
	18 inch	6068-0382-01	6068-0411-04	6068-0411-08	6068-0411-22	6068-0411-18
	24 inch	6068-0356-01	6068-0411-01	6068-0411-05	6068-0411-23	6068-0411-19
	32 inch	6068-0335-01	6068-0411-02	6068-0411-06	6068-0411-24	6068-0411-20

 

光束扩展器选项

 

4英寸的光束扩展器扩展输出光束干涉仪用于大光圈系统。在一些配置,安装硬件传输元素扩展器的一部分。12英寸和18英寸扩展器可与PMR(相位调制插座)机械测量阶段。光束扩展器没有PMR干涉仪可以集成与波长变化,或用于简单的边缘计量。所有扩展器与ZYGO干涉仪使用FlashPhase软件兼容

 

	尺寸	描述	P/N
	12 inch	w/o 型 PMR	6068-0417-01
	12 inch	用 PMR	6068-0417-02
	18 inch	w/o型 PMR	6068-0418-01
	18 inch	用 PMR	6068-0418-02
	24 inch	w/o PMR	Contact ZYGO
	32 inch	w/o PMR	Contact ZYGO

 

 

 

G P I & V E R I F I R E A C C E S S O R I E S

 

 

曲率半径的选择

 

短半径工具包(垂直)

P/N 6500-0165-02

P / N 6500-0651-01机动Z选项

 

4英寸的短半径工具包GPI或VeriFire。它是用来测量干涉仪的半径垂直取向。组件包括:基板,三个1.5米棒,XYZ阶段安装在支持武器,编码一个150毫米的规模,一个编码器显示、RS232通信硬件。读出的分辨率1µm规模。一个f / 0.65或者f / 0.75传输领域,分别可用,是必需的。

数字半径范围内,1米(水平)

 

P/N 6090-0246-01

 

 

数字半径范围内由一个磁数字规模位置反馈,安装在导杆固定在花岗岩或光学表。酒吧是用来指导硬件安装在直线测量半径。山的距离从猫眼路标位置共焦位置的曲率半径测试下一部分。规模10µm读出的分辨率。

 

 

短半径工具包,

 

显示可选的机动Z

 

 对分辨率和精度

 

分辨率是最小的增量所公认的规模。精度测量的统计误差的读数。精度取决于很多因素,如:导杆的直线度、平面度的表或花岗岩,天平的安装和校准干涉仪,和环境条件。

 

	曲率半径的选择	精度范围
	数字半径范围	≥ 200 µm
	短半径工具包 150 mm	10-20 µm
	编码DRS,2米	50-150 µm
	干涉半径幻灯片	大3um或0.001%

 

通常情况下,部分的半径越小,测量的准确性就越大.

 

 

 

 数字半径范围内,1米,显示5轴载和自动定心元素部件

 

数字范围半径w /编码器,2米(水平)

 

P/N 6090-0259-01

 

这个数字半径的比例(DRS)选项包括精度Heidenhein密封位置反馈线性编码器,安装在导杆固定在花岗岩或光学表。酒吧是用来指导安装在直线测量半径。山的距离从猫眼路标位置共焦位置的曲率半径测试下一部分。这个位置显示在数字读出数据,可以传播到MetroPro软件计算机计算。读出的分辨率1µm。

 

数字与编码器半径范围内,2米有可选的5轴安装。

干涉半径幻灯片(IRS)(水平)

 

P/N 6090-0232-10

 

干涉半径幻灯片(IRS)使用位置反馈的外差式激光位移测量干涉仪。在猫眼路标位置和共焦测量位置,计算定位误差和减去,曲率半径结果计算了MetroPro软件。幻灯片的分辨率10纳米。

美国国税局包括:一个激光头国税局底板和线性干涉仪光纤传感器,一个目标反光镜,ZMI PCI测量板,和必要的接口电缆。导杆,分别可用,是必需的。

 

干涉半径幻灯片,底板、线性干涉仪和激光头。

注意回射器安装在高精度山。

 导杆(IRS)所需

1米6090-0246-02 P / N

2米6090-0246-03 P / N

 

导杆是用来指导高精度挂载在直接路径的曲率半径测量干涉半径(IRS)。酒吧是一个精密地面钢筋与附件的腿1英寸中心安装一个光学表。它有1米或2米长度。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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