半导体微型气体质量流量计 型号:CXB-4-R4-D-A1-F2 库号：D301890

半导体微型气体质量流量计 型号:CXB-4-R4-D-A1-F2

库号：D301890 

 

半导体微型气体质量流量计

型号:GFMM-CXB-4-R4-D-A1-F4

量程:1-20L/MIN

耐压:3MPa

用途与特点

质量流量控制器用于对气体的质量流量进行测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、和真空灯多种领域的科研和中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。

主要指标

1 量程范围 （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM

（0~1,2,3,5,10, 50,100,200,500...） SLM

2 准确度 +1.0%F.S

3 线性 +0.5~1.5%F.S

4 重复精度 +0.2%F.S

5 响应时间 电特性：10sec 气特性：（1~4）sec

6 工作压差 （0.1~0.5）MPa

7 耐压 3MPa

8 工作环境温度 0~70℃

9 数字量 RS485 MODBUS协议

10 模拟量 DC 0~5V ，4~20mA 可选

11 供电 DC +15V/24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA

12 电气连接 DB15

13 漏率 1×10-8SCCSHe

14 底座材质 316L不锈钢

15 密封材质 氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶

16 气路接头 Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞

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