全自动光弛OTFC-1550光学真空电镀膜机 9成新日本原装

工厂转让一台日本原装OTFC-1550真空电镀膜机使用范围:介质膜及金属膜光学元件镀膜

OTFC- 1550光驰机(年份:2015. 11）

真空室：SUS304,Ф1550*1800MM

工件架：Ф1400

工件架转速：10rpm to 30rpm (可变)

光学膜厚控制：HOM2- -R -VIS350A

光学膜厚监控仪：波长范围: 350nm to 1100nm |反射式/透射式

水晶式膜厚计：XTC/3+6点式水晶传感器

蒸发源：2套日本电子16P

离子源：23 寸光驰RF离子源

 

排气系统：机械泵2个，扩散泵Polycold (或2个冷凝泵)275机械泵+爱德华配套罗茨泵

 

 

性能

 

达到压力：7. 0X10-5Pa以下

排气时间：20分(大气压~1. 3X 10-3Pa)

基板温度：高: 350C

 

工作条件

 

设备尺寸：药500m00) x 7200m(D)X53700mm

电源：3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA

水流量：180升/分以上

空气压力：0.5MPa以上

重量：约11000kg

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