Aerotech QNP系列压电纳米定位平台

7999

起订量

≥1台

总供应

1000台

所在地

江苏省苏州市

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  • 产品属性
  • Aerotech QNP系列压电纳米定位平台

    关键词:纳米定位平台/压电平台/压电纳米定位台

    QNP系列压电纳米定位平台以紧凑,高刚度的封装提供纳米级的性能。多种行程(100μm至600μm)和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准的应用的理想解决方案。

    紧凑包装中的高质量

    QNP压电平台受挠曲的指导,该挠曲使用有限元分析进行了优化,以确保高刚度和较长的设备寿命。终的设计提供了刚度和谐振频率,从而实现了高处理量和快速的闭环响应。此外,集成的XY封装程度地减少了平台堆叠高度和移动质量,从而实现了静态和动态多轴性能。

    高分辨率和定位精度

    所有QNP压电级均采用的电容传感器设计,提供闭环反馈选项,可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位滑架的输出,从而实现精度和可重复性。

    超控制

    与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时,QNP压电纳米定位台具有亚纳米级的定位分辨率和就位稳定性(抖动)以及高定位带宽。

    QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈(开环)。对于需要紧凑的尺寸,高动态特性和亚纳米级定位分辨率,但又不需要定位精度和可重复性的应用,开环提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源(干涉仪,视觉系统,光电探测器等)控制压电位置的情况下,也可以使用开环设计。

    可选的安装板可直接安装到英制或公制面包板光学平台上。QNP系列还包括-L和-Z级,其中公共行程与转接板一起安装。

    所有QNP压电平台均可根据要求提供真空制备版本。

    设计特点

    • 行程范围从100μm到600μm

    • 设备寿命长

    • ,无摩擦的挠性导向系统

    • 借助直接计量电容传感器,可实现高达0.007%的出色定位分辨率和线性度

    • 与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性

    • 开环和真空版本

    Model

    QNP40XY-100

    QNP50XY-250

    QNP60XY-500

    Closed-Loop Travel

    100 µm

    250 µm

    500 µm

    Open-Loop Travel, -30 to +150 V(1)

    120 µm

    300 µm

    600 µm

    Resolution(2)

    Closed-Loop

    0.30 nm

    0.50 nm

    0.90 nm

    Open-Loop

    0.15 nm

    0.20 nm

    0.40 nm

    Linearity(3,4)

    0.01%

    0.01%

    0.007%

    Bidirectional Repeatability(5)

    2 nm

    2 nm

    5 nm

    Pitch/Yaw

    6 µrad (1.2 arc sec)

    6 µrad (1.2 arc sec)

    12 µrad (2.5 arc sec)

    Stiffness (Direction of Motion)(6)

    1.05 N/µm

    0.36 N/µm

    0.24 N/µm

    Unloaded Resonant Frequency(6)

    Top Axis

    885 Hz

    445 Hz

    315 Hz

    Bottom Axis

    635 Hz

    295 Hz

    200 Hz

    Resonant Frequency

    (50 gram load)(6)

    Top Axis

    495 Hz

    305 Hz

    240 Hz

    Bottom Axis

    335 Hz

    240 Hz

    170 Hz

    Maximum Acceleration

    (Unloaded)(7)

    Top Axis

    600 m/s2

    370 m/s2

    210 m/s2

    Bottom Axis

    320 m/s2

    160 m/s2

    90 m/s2

    Moving Mass (Unloaded)

    Top Axis

    42 g

    56 g

    98 g

    Bottom Axis

    79 g

    126 g

    217 g

    Max Payload(8)

    1 kg

    1 kg

    1 kg

    Stage Mass

    0.11 kg

    0.17 kg

    0.27 kg

    Material

    Anodized Aluminum(9)

    MTBF (Mean Time Between Failure)

    30,000 Hours

     

    QNP-Z压电纳米定位平台可提供电容传感器反馈或无反馈(开环)。对于需要紧凑的尺寸,高动态特性和亚纳米级定位分辨率,但又不需要定位精度和可重复性的应用,开环提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源(干涉仪,视觉系统,光电探测器等)控制压电位置的情况下,也可以使用开环设计。

    可选的安装板可直接安装到英制或公制面包板光学平台上。QNP系列还包括-L和-XY位移台,其中公共行程与转接板一起安装。

    机械规格1

    模型

    QNP40Z-100

    QNP50Z-250

    QNP60Z-500

    闭环旅行

    100微米

    250微米

    500微米

    开环行程,-30至+150 V (2)

    140微米

    300微米

    600微米

    解析度(3)

    闭环

    0.30海里

    0.50海里

    0.90海里

    开环

    0.15纳米

    0.20海里

    0.40纳米

    线性度(4,5)

    0.01%

    0.01%

    0.007%

    双向重复能力(6)

    1纳米

    1纳米

    3纳米

    俯仰/滚动/偏航

    15微弧度(3弧秒)

    25微弧度(5弧秒)

    39微弧度(8弧秒)

    刚度(在运动方向上)(7)

    0.96 N /微米

    0.40 N /微米

    0.42 N /微米

    空载谐振频率(7)

    1050赫兹

    510赫兹

    310赫兹

    共振频率(50克负载)(7)

    620赫兹

    340赫兹

    260赫兹

    加速度(空载)(8)

    530 m / s 2

    260 m / s 2

    220 m / s 2

    移动质量

    53克

    83克

    234克

    有效载荷(7)

    1公斤

    0.8公斤

    1公斤

    舞台质量

    0.08公斤

    0.13公斤

    0.31公斤

    材料

    阳极氧化铝(10)

    MTBF(平均无故障时间)

    30,000小时

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    加工定制 :
    品牌 : Aerotech
    型号 : QNP系列
    产品认证 : CE
    适用电机 : 纳米平台
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