Aerotech ABL系列气浮平台

Aerotech ABL系列气浮轴承直驱直线运动平台，拥有超的定位功能，精度在0.2~0.5um之间。

设计特点

• 专为扫描和检查而设计

• 所有空气轴承表面上的有效空气预载

• 线性编码器反馈提供亚纳米分辨率

• 高刚性，可承受重载，并具有几何性能

• 行程达500毫米

前沿制造业，特别是在半导体和数据存储行业中，要求的定位公差超出了传统滚珠丝杠和机械轴承定位系统的能力。ABL1500空气轴承台具有完全主动的预紧力，极高的刚度和几何特性，为满足这些需求而设计。

空气轴承设计，实现高动态性能

ABL1500在垂直和水平表面上均带有空气预载功能。相对的薄膜压力可保持轴承的名义间隙公差。除了大的空气轴承表面可以将负载分配到较大的表面积上之外，这种设计还可以使平台具有刚度，非常适合重载或偏载。

制造技术导致了具有无法超越的几何特征的阶段。空气轴承具有固有的平均效应，可限度地提。薄膜将填充小的表面空隙并允许其他不规则性。此特性可产生螺距，滚动，偏航，直线度和平坦度规格。

直线电机驱动

此阶段的驱动力是Aerotech的BLMC系列无刷线性伺服电机。该设计体现了Aerotech作为电机制造商的悠久历史和经验。BLMC使用无铁力，这意味着零齿槽效应和无吸引力，从而实现了的运动平稳性。BLMC能够产生高的力和速度，代表了功率和性能的结合。

零维护

我们的完全非接触式空气轴承，非接触式线性电动机驱动器和非接触式反馈设备确保了Aerotech设备所期望的水平下的多年免维护运行。由于运动元件之间没有机械接触，所以随着时间的流逝，ABL1500不会遭受磨损或性能下降。使用寿命几乎是的，并且由于没有润滑-只有清洁，干燥的气体-空气轴承是洁净室和医疗应用的理想选择。

电缆管理

我们精心优化电缆弯曲半径，以确保多年无故障运行。万一发生故障，Aerotech的模块化设计使电缆更换变得快速简便，停机时间少。我们将所有客户要求的电缆，空气软管等都包含在CMS捆绑包中，以便于集成到终系统中。两端完全连接，可轻松集成到客户的机器中。

技术指标

机械规格

模型			ABL1500-050	ABL1500-100	ABL1500-200
旅行			50毫米	100毫米	200毫米
准确性（1）	E1	已校准	±0.3微米	±0.3微米	±0.5微米
		标准	±2.0微米	±4.0微米	±8.0微米
	E3	已校准	±0.2微米	±0.2微米	±0.4微米
		标准	±1.0微米	±2.0微米	±5.0微米
重复性 （双向）（1）	E1		±0.1微米	±0.2微米
	E3		±0.05微米	±0.05微米	±0.1微米
直线度（1）			±0.25微米	±0.4微米	±0.5微米
平面度（1）			±0.25微米	±0.4微米	±0.5微米
沥青			±0.5弧秒	±1弧秒	±2弧秒
滚			±0.5弧秒	±1弧秒	±2弧秒
偏航			±0.5弧秒	±1弧秒	±2弧秒
速度			2 m /秒
加速度			2克（空载）
力（连续）			93.6 N
载重量（2）	卧式		35公斤
	侧		25公斤
运营压力			80 psi±5 psig
耗气量			24-30 SLPM @ 551 kPa（0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴）
移动质量（空载）			5.1公斤
舞台质量			14.7公斤	16.0公斤	18.6公斤
材料			铝
MTBF（平均无故障时间）			30,000小时

• 通过每个阶段的认证。

• 列出了轴上加载的轴方向。

• 规格适用于在桌面上方25 mm处测量的单轴系统。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。有关多轴或非标准应用，请咨询工厂。

• 为了防止空气轴承承受负压，建议在运动控制器/放大器的ESTOP输入上连接一个在线压力开关。

• 供气必须清洁，干燥至0°F露点并过滤至0.25 µm或更高；建议使用纯度为99.9％的氮气。

• 对于XY配置，上轴行程为200 mm。如果上轴行程大于200 mm但等于或小于500 mm，则需要ABL1500WB作为下轴。

模型			ABL1500-300	ABL1500-400	ABL1500-500
旅行			300毫米	400毫米	500毫米
准确性（1）	E1	已校准	±0.5微米	±0.6微米	±0.6微米
		标准	±12.0微米	±16.0微米	±20.0微米
	E3	已校准	±0.4微米	±0.5微米	±0.5微米
		标准	±5.0微米	±5.0微米	±5.0微米
重复性 （双向）（1）	E1		±0.2微米	±0.3微米
	E3		±0.15微米	±0.2微米
直线度（1）			±0.75微米	±1.5微米	±2.0微米
平面度（1）			±0.75微米	±1.5微米	±2.0微米
沥青			±3弧秒	±4弧秒	±5弧秒
滚			±3弧秒	±4弧秒	±5弧秒
偏航			±3弧秒	±4弧秒	±5弧秒
速度			2 m /秒
加速度			2克（空载）
力（连续）			93.6 N
载重量（2）	卧式		35公斤
	侧		25公斤
运营压力			80 psi±5 psig
耗气量			24-30 SLPM @ 551 kPa（0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴）
移动质量（空载）			5.1公斤
舞台质量			21.3公斤	23.9公斤	26.5公斤
材料			铝
MTBF（平均无故障时间）			30,000小时

• 通过每个阶段的认证。

• 列出了轴上加载的轴方向。

• 规格适用于在桌面上方25 mm处测量的单轴系统。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。有关多轴或非标准应用，请咨询工厂。

• 为了防止空气轴承承受负压，建议在运动控制器/放大器的ESTOP输入上连接一个在线压力开关。

• 供气必须清洁，干燥至0°F露点并过滤至0.25 µm或更高；建议使用纯度为99.9％的氮气。

• 对于XY配置，上轴行程为200 mm。如果上轴行程大于200 mm但等于或小于500 mm，则需要ABL1500WB作为下轴。

ABL系列定位平台优点：

•几何性能的气浮导轨

•1.2 m x 1.2 m 的行程

•光柵尺或激光回馈干涉仪

•亚微米定位精度

•XY 和 XYZ 集成系统

•无槽直接驱动电动机

同时我们还提供其他型号的纳米级直线、旋转高运动平台，比如 pro系列，ANT95系列等等。

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