二手双面精密抛光机 镜面打磨抛光机

工厂转让瑞德品牌13B/15B双面抛光平磨机

一、主要用途

　　主要用于硅片，钨钢，蓝宝石、蓝玻璃、陶瓷片、晶体、半导体及其他硬脆材料的高精度双面研磨/抛光，尤其适用于超薄工件的加工。

　　二、产品特点

　　1、压力精密控制：PLC+PT+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力闭环控制;

　　2、上盘减震装置：动静态均适用的减振弹性连接方式;

　　3、精密传动系统：高精度小齿隙全齿轮传动;

　　4、下盘支撑：高精度平面流体轴承支撑;

　　5、销齿传动：内外齿采用销齿传动，延长载体使用寿命，维护便捷;

　　6、传动系统：三电机同步拖动，上盘、下盘和齿圈、太阳轮(即可正转，也可反转)转速可任意设定，具有配方功能。

　　三、技术参数

 

序号	项目		规格参数
1	下盘	尺寸	Φ952mm×Φ388mm×50mm(研磨)
			Φ960mm×Φ380mm×50mm(抛光)
		转速	3-45 rpm
		驱动电机	7.5kW AC380V 50Hz 1440rpm
2	上盘	尺寸	Φ952mm×Φ388mm×50mm(研磨)
			Φ960mm×Φ380mm×50mm(抛光)
		转速	3-30 rpm
		驱动电机	4.0kW AC380V 50Hz 1440rpm
3	游星轮	参数	节距：15.7 Z=64
		数量	6个
4	太阳轮	转速	0-20 rpm
		驱动电机	1.5kW AC380V 50Hz 1440rpm
5	精度指标	上、下盘平面度	≤0.015mm
		下盘端跳	≤0.02mm
6	加工范围	最大加工尺寸	Φ280mm
		最小加工厚度	0.15mm(≤2"片）
		整盘承载量	18×6=108片（2" 圆片）
7	水源		纯水或自来水
8	电源	功率	14kW AC380V 50Hz
		线缆规格	三相五线刮．3×4mm²+2×2.5mm²
9	气源	压力	压缩空气源0.5-0.6Mpa
		接管口径	接口Φ10mm（外径）
10	外形尺寸		长×宽×高：1650mm×1300mm×2500mm
11	重量		约3000Kg

 

 

 

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