半导体微型气体质量流量计 型号:CXB-4-R4-D-A1-F2 库号：M110042 其他

半导体微型气体质量流量计 型号:GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F2

库号：M110042

材质：不锈钢 精度等级：1

适用介质：气体 款式：电子带数显

公称直径：6mm 工作压力：3Mpa

流量测速范围：0---30SLMkg/h 工作温度：5-65℃℃

介质：氧气

流量范围：750-3000SCCM

供电：DC24V

输入输出：0-5v或者4-20mA

显示：LCD

通讯：RS485

精度：±1%FS

压差范围：0.05Mpa-0.3MPa

进口压力：≤3Mpa

温度：5-65℃

连接：1/4卡套接头

氮气标定量程

微小气体质量流量控制器应用范围

应用领域应用到热处理，半导体，真空设备，太阳能，分析仪器，光电，制气，医疗，化工，锅炉等各个领域。

微小气体质量流量控制器原理

采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响，将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的量使之与设定的流量相等。

微小气体质量流量控制器产品

1.多气体、多量程、高精度、快反应。

2.重复性好，稳定性高，高。

3.工作压力范围宽，使用寿命长。

4.本地显示，高清晰液晶屏数字、模拟量输入输出。

微小气体质量流量控制器安装注意事项：

测量介质：气体净化，切忌粉尘、液体和油污。

工作压差：要特别注意工作介质的气压，应注意使控制器进出气口两端的工作压差保持在指标范围之内。工作压差不在规定的范围内，流量将无法关闭或调小。在使用大流量的质量流量控制器时，要注意适当加粗管道和减小气源内阻，若工作压差小于要求值，有可能流量达不到满量程值。（建议客户：在进出口处安装压力表）

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