白光干涉仪量测三维形貌尺寸，中图仪器SuperView W1光学轮廓仪

现有的光学非接触测量方法难以完成高反射曲面零件的三维形貌高精度测量，已经难以满足现代工业数字化需求。白光干涉仪量测三维形貌尺寸采用白光轴向色差原理，利用白光干涉扫描技术为基础研制而成，是一种用于对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维检测的精密仪器，它的特点是测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌，可以快速获取被测工件表面三维形貌和数据进行检测，主要用于成品质量的管理，确保良品合格率。

中图仪器SuperViewW1系列白光干涉仪具有测量精度高、分析功能强大、使用方便、测量参数齐全等优点，适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。

SuperViewW1系列白光干涉仪可以对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、平面度、面形轮廓、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、表面缺陷、磨损情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、3C电子玻璃屏及其精密配件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

在大多数的场景中，只需检测一个数十、数百微米的区域，但在少数需要检测超精密器件表面全貌的场景中，借助中图仪器SuperView W1白光干涉仪的自动拼接功能，就能够快速实现大区域、高精度的测量。

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