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韶关市金源金属材料有限公司

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靶材绑定

绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来。主要有三种的方式：压接、钎焊和导电胶。靶材绑定常用钎焊，钎料常用In、Sn、In –Sn。一般使用软钎料的情况下，要求溅射功率小于20W×cm-2。

1、防止靶材受热不匀碎裂，例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及烧结靶材；节省成本，防止变形，如靶材太贵，可将靶材做薄些，绑定背靶以防止变形。

2、常用无氧铜，导电性好，无氧铜的导热性比紫铜好；厚度适中，一般建议背靶厚度3mm左右。太厚，消耗部分磁强；太薄，容易变形。

3、绑定前将靶材和背靶表面预处理；将靶材和背靶放置在钎焊台上，升温到绑定温度；将靶材和背靶金属化；粘接靶材和背靶；降温和后处理。

4、溅射温度不宜太高；电流要缓慢加大；循环冷却水应低于35摄氏度；适宜的靶材致密度。

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