3d光学轮廓仪检测仪器 中图仪器SuperViewW1型号

自动拼接功能的使用，即不管是在光滑还是粗糙、平面亦或是异形结构，当必须测量超出适配镜头下的单视场区域时，都可以采用自动拼接，而中图仪器SuperView W1 3d光学轮廓仪检测仪器，可根据不同表面特点进行重建算法的切换，无论何种形貌，都可生成“天衣无缝”的3D全景。

现有的接触式测量方法具有测量速度慢、易划伤测量表面的缺点，而单一的光学非接触测量方法难以完成对大面形或曲率较大的高反射曲面零件三维形貌的高精度测量。白光干涉仪实现了超精密加工高反射曲面三维形貌的高精度非接触测量。

SuperView W1 3d光学轮廓仪检测仪器以白光干涉技术为原理，采用经国家计量检测研究院校准的台阶高标准片作为测量标准件，采用该标准片对仪器的检测精度和重复性进行验收，其中台阶高标准片高度在4.7um左右，测量精度要求为<0.75%，重复精度要求<0.1%（1σ）（测量15次获取的数据标准差），主要用于对样品表面的2D、3D形貌进行测量，主要测量参数为粗糙度、台阶高、几何轮廓等。

技术规格

SuperView W1 3d光学轮廓仪检测仪器属于3D测量领域检测的高精度检测仪器之一，其在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，在一些纳米级和亚纳米级超精密加工领域，除了白光干涉仪，其它的仪器无法达到其精度要求。

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