经济型扫描电子显微镜KYKY-EM3200系列

 

KYKY-EM3200系列
经济型扫描电子显微镜
项目		EM3200		EM3200Z		EM3200A		EM3200AZ
分辨率		6.0nm(30KV)
放大倍数		1.5x~250,000x
电子枪类型		发叉式钨丝阴极
加速电压		0~30KV
透镜系统		三级电磁透镜
物镜光阑		三个光阑可在真空外选择调节
样品台		手动		X/Y轴自动		手动		X/Y轴自动
行程	X	0~50mm(大样品台0~80mm)
	Y	0~50mm
	Z	0~25mm(大样品台0~30mm)
	R	360º
	T	‘-5º ~90º （大样品0º~90º）
探测器		二次电子探测器，背散射电子探测器（可选），X-ray能谱仪（可选）
真空系统		扩散泵		扩散泵		分子泵		分子泵

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