高校科研实验室半导体材料测试仪器 小微型真空高低温探针台 加热制冷探针台

1．        产品名称：新微型高低温探针台

2．        产品型号：KT-Z4019MRL4T

3．        产品品牌：郑科探  Zhengketan

4．        生产厂家：郑州科探仪器设备有限公司

 二：功能要求

KT-Z4019MRL4T测试腔体内部装有不锈钢加热或制冷承载台，台面为φ30，台面最高可升温到最高400℃。台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针，特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达＜5Pa分子泵可达＜-3Pa。真空信号连接处使用 别真空电极信号接头，保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针尖处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电学信号

三：主要技术要求

1．      腔体材质：304不锈钢 6061铝合金 可选

2．      腔体内尺寸：127mmX57mmX20mm

3．      腔体外尺寸：150mmX80mmX32mm

4．      腔体重量：不锈钢材质 约1.5KG     铝合金材质 约0.5KG

5．      腔体上视窗尺寸：Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）

6．      腔体抽气口：KF16法兰（其余接口规格可转接）

7．      腔体真空测量口：KF16法兰（其余接口规格可转接）

8．      腔体进气口：6mm快拧 或 6mm快插

9．      腔体冷却方式：腔体水冷+上盖气冷

10．    腔体水冷接口： 6mm快插

11．    允许正压：≤0.05MPa

12．    腔体真空度：机械泵≤5Pa （5分钟）  分子泵≤5E-3Pa（30分钟）

13．    样品台材质：不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块

14．    样品台尺寸： 26x26mm

15．    样品台加热方式：电阻加热 液氮制冷  

16．    样品台-视窗 距离：11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）

17．    样品台测温传感器： PT100型热电阻

18．    样品台温度：室温到400℃  室温到-196℃

19．    样品台测温误差：±0.5℃

20．    样品台升温速率：高温100℃/min 最大值   低温7℃/min

21．    温度显示： 7寸人机界面

22．    温控类型：标准PID温控 +自整定

23．    温度分辨率：0.1℃

24．    温控精度：±0.5℃

25．    温度信号输入类型：PT100 （可选K  S  B型热电偶）

26．    温控输出：直流线性电源加热+液氮流速控制器

27．    辅助功能：温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口

28．    温控器尺寸：32cmX170cmX380cm

29．    温控器重量：约5.6KG

30．    电信号接头：配线转接 BNC接头   BNC三同轴接头  SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米

31．    电学性能：绝缘电阻 ≥4000MΩ     介质耐压 ≤200V    电流噪声 ≤10pA

32．    探针数量：4探针（可扩展5探针）

33．    探针材质：镀金钨针 （其他材质可选）

34．    探针尖：10μm

35．    X轴移动行程：20mm    ±10mm（需手动推动滑台）

36．    X轴控制精度：≥500μm

37．    R轴移动行程：120°    ±60°（需手动旋转探针杆）

38．    R轴控制精度：≥500μm

39．    Z轴移动行程：2mm    ±1mm

40．    Z轴控制精度：≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）

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