科研真空晶圆测试探针台 智能气体配比器 成套套建 环境检测与分析设备

98800

起订量

≥1件

总供应

199件

所在地

河南省郑州市

  • 图文详情
  • 产品属性
  • 探针台主要应用于传感器,半导体,光电,集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。   该探针台的承载台为60x60不锈钢台面,台面最高可升温到最高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动,三个方向均可在真空环境下精密移位调节,其中X方向调节范围:030mmy方向调节范围:020mmz方向调节范围:020mm;用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上,再微调探针支架X/Y/Z 方向行程,通过显微镜观察,使探针对准检测点后,即可进行检测

    真空腔体

    腔体材质

    304不锈钢

    上盖开启

    铰链侧开

    加热台材质

    304不锈钢

    内腔体尺寸

    φ160x90mm 

    观察窗尺寸

    Φ70mm

    加热台尺寸

    φ60mm

    观察窗热台间距

    75mm

    加热台温度

    35-350

    加热台温控误差

    ±1

    真空度

    机械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

    允许正压

    ≤0.1MPa

    真空抽气口

    KF25真空法兰

    气体进气口

    3mm-6mm卡套接头

    电信号接头

    SMABNC X 4

    电学性能

    绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤500V

    探针数量

    4探针

    探针材质

    钨针  

    探针尖

    10μm

    探针移动平台

    X轴移动行程

    30mm    ±15mm

    X轴控制精度

    ≤0.01mm 

    Y轴移动行程

    13mm    ±12.5mm

    Y轴控制精度

    ≤0.01mm 

    Z轴移动行程

    13mm    ±12.5mm

    Z轴控制精度

    ≤0.01mm 

    电子显微镜

    显微镜类别

    物镜

    物镜倍数

    0.7-4.5

    工作间距

    90mm

    相机

    sony 高清

    像素

    1920※1080像素

    图像接口

    VGA

    LED可调光源

    显示屏

    8

    放大倍数

    19-135,视场范围15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm

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    规格 :
    类型 : 真空仪器与装置
    品牌 : 郑科探
    型号 : KT-1604T-RL
    保修 : 一年
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