微型真空高低温探针台 叉指电极 薄膜仪 可搭配成套系统探针台

类型

高温型室温到400℃      KT-Z165M4RT

腔体材质

304不锈钢

腔体内尺寸

127mmX57mmX22mm

腔体重量

约2KG

腔体上视窗尺寸

Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）

腔体抽气口

KF16法兰（其余接口规格可转接）

腔体进气口

公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体冷却方式

腔体水冷+上盖气冷

腔体水冷接口

6mm快拧 或 6mm快插

腔体正压

≤0.05MPa

腔体真空度

机械泵≤5Pa （5分钟）  分子泵≤5E-3Pa（30分钟）

样品台

样品台材质

不锈钢

样品台尺寸

26x26mm

样品台加热方式

电阻加热

样品台-视窗 距离

10mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）

样品台测温传感器

PT100型热电阻

样品台温度

室温到400℃

样品台测温误差

±0.5℃

样品台升温速率

高温20℃/min  最大值    低温7℃/min

温控仪

温度显示

7寸人机界面

温控类型

标准PID温控 +自整定

温度分辨率

0.1℃

温控精度

±0.5℃

温度信号输入类型

PT100 （可选K  S  B型热电偶）

温控输出

直流线性电源加热

辅助功能

温度数据采集并导出  实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口

温控器尺寸

32cmX170cmX380cm

温控器重量

约5.6KG

探针

电信号接头

配线转接 BNC接头   BNC三同轴接头  SMA 接头  香蕉插头 选其一

 线长1.2米

电学性能

绝缘电阻 ≥4000MΩ     介质耐压 ≤200V    电流噪声 ≤10pA

探针数量

4探针（可扩展6探针）

探针材质

钨合金探针 （其他材质可选）

探针尖

50μm （其他规格可选）

手动探针移动平台

X轴移动行程

15mm    ±7.5mm（需手动推动滑台）

X轴控制精度

≥500μm

R轴移动行程

120°    ±60°（需手动旋转探针杆）

R轴控制精度

≥500μm

Z轴移动行程

2mm    ±1mm

Z轴控制精度

≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）