1000度高温显微镜热台 高温探针台 材料性能表征 薄膜与界面性能研究

1000度高温显微镜热台 高温探针台  用于观察高温样品结晶过程 和热电阻测试 光学测试 高温真空探针台 主要应用于半导体 材料科学 纳米技术 光电子 薄膜技术等领域

半导体器件测试与表征.

1.材料性能表征

2.薄膜与界面性能研究

3.功能材料及元器件的研发

4.微电子技术与工艺研究

5.热学性能测试与研究 

1000度高温显微镜热台 高温探针台  用于观察高温样品结晶过程 和热电阻测试 光学测试 高温真空探针台 主要应用于半导体器件测试与表征材料性能表征薄膜与界面性能研究  功能材料及元器件的研发 微电子技术与工艺研究 热学性能测试与研究 

技术参数；

真空腔体
类型	高温加热型1000℃（高于600℃需真空环境）
腔体材质	6061铝合金
腔体内尺寸	147mmX72mmX22mm
腔体外尺寸	170mmX95mmX37mm
腔体重量	约1.1KG
腔体上视窗尺寸	Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）
腔体抽气口	KF16法兰（其余接口规格可转接）
腔体真空测量口	KF16法兰（其余接口规格可转接）
腔体进气口	公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选
腔体冷却方式	腔体水冷+上盖水冷
腔体水冷接口	6mm快拧 或 6mm快插
腔体正压	≤0.05MPa
腔体真空度	机械泵≤5Pa （5分钟）  分子泵≤5E-3Pa（30分钟）
样品台
样品台材质	高温绝缘陶瓷
样品台尺寸	26x26mm
样品台加热方式	电阻加热
样品台-视窗 距离	13mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）
样品台测温传感器	S型热电偶
样品台温度	室温到1000℃
样品台隔热材料	金属屏蔽+陶瓷隔热
样品台测温误差	±1℃
样品台升温速率	高温100℃/min  值

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