高校科研实验室半导体材料测试 微型真空探针台

这种设备的主要功能是测试气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号。它的测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面最高可升温到最高400℃。这样的设计使得它可以在高温环境下对材料进行测试，以评估其在高温环境中的性能。该设备还具有一个特别的设计，就是台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针。这些探针可以手动调节移动至被测试器件的引脚处，使得测试过程更加精确和方便。这种设计特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试，使得研究人员可以准确地测试这些微小器件的性能。此外，该设备还具有高真空性能。其进气口和抽真空接口的真空度可以达到＜5Pa，而使用分子泵后，真空度可达＜-3Pa。这样的高真空性能可以有效地保护被测试的材料免受空气中的氧气和水分等物质的侵蚀，从而保证测试结果的准确性。在使用这种设备时，需要将待检测的器件放置在加热台面上，然后将探针尖处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处。外部信号线连接测试仪器来测试电学信号。这样的操作需要一定的专业知识和技能，因此在使用过程中需要遵循设备的使用说明和操作指南

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