科研真空小型蒸镀机 电阻热蒸发镀膜仪系列 电子束镀膜设备

电阻式热蒸发镀膜机 电阻式热蒸发镀膜机是郑州科探仪器设备有限公司生产，台式设计、软件自动操控、高性价比，非常适合实验室科研使用。 通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面

小型蒸镀仪 郑州科探KT-Z1650CVD，台式设计、软件自动操控、高性价比，非常适合实验室科研使用。通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为热蒸发镀膜，热蒸发镀膜技术是历史最悠久的PVD镀膜技术之一。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下为蒸发镀膜设备的示意图。

技术规格：- 基底尺寸：3英寸，4英寸，6英寸；- 基底旋转：8转/分钟；- 热蒸发源：电阻式热蒸发舟，交流电源；- 腔体：不锈钢或石英腔体可供客户选择；- 泵：前级干泵，分子泵；- Load Lock样品传输腔室：手动或自动传输，高真空，支持多种样品衬底(选配)；- 工艺控制：PC/PLC机制的自动控制、数据处理、工艺记忆储存；- 原位监控：石英晶振监测(QCM)，光学监测，残余气体分析，其他原位监测技术或控制；- 衬底固定：单衬底固定，客户化衬底固定方式；

-         衬底夹具：加热，冷却，偏置，旋转等；

-         保护样品：配有样品挡板，可手动或自动开/关挡板，达到及时遮挡样品效果；

技术支持&服务：

1. 技术支持：在合同签订之前，我们的专业工程师会在充分了解客户需求的前提下，为客户做出**的选型和方案设计，使客户充分了解并理解产品技术指标、性能用途、使用场合、安全注意事项等，以帮助客户做出正确的选择。

2. 安装与培训：在产品使用前，我们会派专业工程师为您提供现场技术支持、培训及演示服务。

3. 产品质保：我们对产品提供12个月的质保期，在质保期内发生设备或配件损坏由公司负责赔偿或免费维修。（耗材和易损件除外）

4. 终身维护：我们对提供的产品提供终身服务，对于超过质保期限的维修、维护仅收取材料费，免除一切人工费用。

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