郑科探KT-Z165M4LT 高校科研实验室高低温 微型真空冷热探针台

  KT-Z165M4LT精巧型真空腔体测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为30*30mm，台面最高可升温到最高400℃。台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针，特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达＜5Pa分子泵可达＜-3Pa。真空信号连接处使用 级别真空电极信号接头，保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针尖处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电学信

技术参数；

真空腔体
型号	KT-Z165M4LT
类型	高低温型：室温到 400℃  室温到-190℃
腔体材质	304不锈钢
腔体内尺寸	135mmX57mmX21mm 容积165ML
腔体重量	约2KG
腔体上视窗尺寸	Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）
腔体抽气口	KF16法兰（其余接口规格可转接）
腔体进气口	公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选
腔体冷却方式	腔体水冷+上盖气冷
腔体水冷接口	6mm快拧 或 6mm快插
腔体正压	≤0.05MPa
腔体真空度	机械泵≤5Pa （5分钟）  分子泵≤5E-3Pa（30分钟）
样品台
样品台材质	不锈钢
样品台尺寸	26x26mm
样品台加热方式	电阻加热 液氮制冷
样品台-视窗 距离	10mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）
样品台测温传感器	PT100型热电阻 液氮制冷
样品台温度	室温到 400℃ 室温到-190℃
样品台测温误差	±0.5℃
样品台升温速率	高温20℃/min  最大值    低温7℃/min
温控仪
温度显示	7寸人机界面
温控类型	标准PID温控 +自整定
温度分辨率	0.1℃
温控精度	±0.2℃
温度信号输入类型	PT100 （可选K  S  B型热电偶）
温控输出	直流线性电源加热+液氮流速控制器

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