渭柏Trimos光学表面测量可更换光学元件，或安装在旋转架上

   渭柏Trimos光学表面测量可更换光学元件，或安装在旋转架上

Trimos-TR 扫描高级套装 3D

非接触式表面测量，纳米级精度

TR Scan Premium 可以以惊人的速度和精度测量敏感的表面。当传统的接触式测量已达，在许多高科技应用中，它已成为不可避免的。医疗器械、假肢、晶圆、MEMS、半导体、金属层沉积、聚合物薄膜、光学元件、研发、质量控制是 TR Scan Premium 的专业领域。

  特点

高的测量速度加上纳米级的精度范围是 TR Scan 的主要优势。获取三维图像仅需几微秒。

非接触式测量速度

纳米分辨率

软件

预编程测量模板

兼容 2D 和 3D 标准

可更换光学元件，或安装在旋转架上

  技术细节

规格 CCM-L1 0.2毫米 CCM-L1 1毫米 CCM-L1 4毫米

垂直测量范围 200 微米 0.95 毫米 3.9 毫米

行宽 0.96 毫米 ± 0.01 毫米 1.91 毫米 ± 0.01 毫米 4.78 毫米 ± 0.02 毫米

横向间距 5 微米 10 微米 25 微米

工作距离 5.3 毫米 ± 0.2 毫米

18.5 毫米 ± 0.2 毫米

41 毫米 ± 0.2 毫米 

光斑尺寸 2 微米 4 微米 10 微米

横向分辨率 1 微米 2 微米 5 微米

准确性 ± 80 纳米 ± 300 纳米 ± 1.2 微米

数字化开放 0.7 0.55 0.33

大测量角度 90°+/-44° 90°+/-33° 90°+/-20°

厚度测量范围 20 微米 – 280 微米 75 微米 – 1.35 毫米 300 微米 – 5.5 毫米

小 Ra 测量值 1) < 0.1 微米 < 0.8 微米 不适用

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