中图仪器SuperViewW1白光干涉仪特征

制造企业逐步走在智能制造的路上，对产品质量的要求也逐步在提高。从IQC到FQC，OQC，产品的外观尺寸缺陷等品质检测也越发重要。这就不得不说白光干涉测量技术，将其应用到3D表面轮廓仪中，可进行纳米级的测量。

中图仪器SuperViewW1白光干涉仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米的工件粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

SuperViewW1白光干涉仪特征

1、复合型扫描算法

结合了PSI相移法高精度和VSI垂直法大范围的双重优点的复合型扫描重建算法，能够适配从超

光滑到粗糙、光滑弧面等所有类型样品；

2、双重防撞保护

1）软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；

2）Z向防撞传感器，当镜头碰到样件表面，镜头即回缩，进入紧急停止状态，不再下移；

3、地面振动&声波振动隔振防护

气浮隔振设计&吸音材质隔离设计，确保仪器在嘈杂的车间中能够有效滤除地面和声波的振动干扰，正常工作；

4、环境噪声评价

提供环境噪声评价模块，能够定量检测出当前环境噪声对仪器的干扰，对仪器的调试和使用提供数据依据；

5、精密操纵手柄

集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

中图仪器研发生产的光学3d轮廓仪检测仪对产品进行高品质监控时不需要取下产品或停止生产，而且采用的是非接触式光学测量，在获得实时数据的同时，不会对产品造成任何损伤，从而有效节约了生产成本，提高了生产效率，并且在线检测，没有滞后性，从而减少不合格品，对表面缺陷检测亦如此。

产品参数

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

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