中图仪器sj6000激光平面度干涉测量仪

sj6000激光平面度干涉测量仪测量分辨率0.01″，系统测量精度为±1″，基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″。主要特点是小巧便携、功能强、无线操作。具有测量精度高、测量速度快、高测速下分辨率高、测量范围大等优点。

技术参数

产品型号：SJ6000

产品名称：SJ6000激光干涉仪

稳频方式：双频激光热稳频

稳频精度：0.05ppm

线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃

线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）

角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

测量分辨力：1nm

动态采集频率：50KHz

预热时间：≤6分钟

工作温度范围：（0-40）℃

环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%

主要特点：应用范围广、测量精度高、操作方便

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取

激光的高方向性、高相干性和高单色性特点，使其具有普通光源所没有的优势。以激光干涉技术为核心，sj6000激光平面度干涉测量仪机床精度测试的分辨率可达纳米级。采用的激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、长期稳定性好的激光频率输出，并且干涉镜与主机分离设计，避免了干涉镜受热影响，保证了干涉光路稳定可靠。

平面度的测量是在角度测量的基础上进行的延伸。平面度测量一般采用“对角法”在平面上进行相应次数的角度测量，通过软件算法可将角度的变化转换为平面上高度的变化，进而得到整个平面的平面度。

线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台

sj6000激光平面度干涉测量仪可以通过与不同的光学组件结合，对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量。其线性定位测量的精度是0.5ppm，可以满足现在所有类型数控机床精度检测，它可以弃普通车间进行应用，具有更强的环境适应能力，同时可进行动态高速测量，配以相应元件后还可以测量角度、线速度、平面度、振动幅度及速度等。

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