等离子清洗机 晶圆处理去除光刻胶

等离子清洗机能去除晶圆表面的无机物，还原氧化层，增加铜表面的粗糙度，提高产品的可靠性。

等离子体清洗机去除晶圆表面光刻胶：等离子体清洗机在处理晶圆表面光刻胶时，等离子表面清洗能够去除表面光刻胶和其余有机物，也可以通过等离子清洗机活化和粗化作用，对晶圆表面进行处理，能有效提高其表面浸润性。相比于传统的湿式化学方法，等离子体清洗机干式处理的可控性更强，一致性更好，并且对基体没有损害。

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